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水滴で描く超微細回路 期待高まる液浸リソグラフィー

 半導体チップ微細化のカギは意外なところに潜んでいた。「液浸リソグラフィー」という新技術は水を利用する単純なアイデアだ。    イタリアのフィレンツェで活躍した物理学者アミーチ(Giovanni Battist … 続きを読む

カテゴリ 2005年11月号, 記事